- 제목
- 김형준 교수 연구팀, 프랑스 다국적기업 Air Liquide와의산학협력센터 (ALYC) 및 연구 과제 계약 연장 체결
- 작성일
- 2022.03.31
- 작성자
- 전기전자공학부
- 게시글 내용
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김형준 교수 연구팀(나노소자연구실)이 프랑스의 다국적 기업인 Air Liquide와 2012년 교내 산학협력센터(ALYC)를 유치한 이후 매년 계약 연장이 체결되어 올해로 ALYC 운용 11년차를 맞이하게 되었다.
본 ALYC에서는 다양한 산업에의 적용을 목표로 ALD 프리커서와 이를 이용한 ALD 공정 개발 연구가 수행되어왔으며, 최근에는 반도체 산업에서 각광받고 있는 선택적 영역 원자층 증착법 (Area-selective ALD) 공정 개발을 위한 공동연구를 진행하고 있다.
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