가스선택성을 갖는 초고해상도, 초저전력 MEMS기반 가스센싱 시스템 개발

기계공학과 김종백 교수 연구팀과 전기전자공학과 채영철 교수 연구팀이 공동 개발한 가스센싱 시스템 연구가 2022년 8월 25일 세계적인 초고밀도 집적 회로(VLSI) 분야 저널인 'IEEE Journal of Solid-state Circuits' (Impact Factor: 6.12)에 게재되었다. 본 논문에서는 MEMS 기반의 저항식 가스센서와 Resistor to Digital Converter를 집적하여 초고해상도를 갖는 초저전력 가스센싱 시스템을 제시하였다. 또한, 다른 온도로 구동했을 때 상이한 반응성 차이를 이용하여 가스센서의 선택성을 얻었다.

해당 논문 링크: 10.1109/JSSC.2022.3197549