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제목
[학부 세미나] 11/11(금) 윤준영 교수(연세대학교) "정밀 생산 메카트로닉스: Motor and Stage Technology in Lithography Scanners"
작성일
2022.11.08
작성자
기계공학부
게시글 내용

기계공학부 구성원들의 많은 관심과 참여 부탁드립니다.


▣ 제  목정밀 생산 메카트로닉스: Motor and Stage Technology in Lithography Scanners

연  사: 윤준영 교수

소  속: 연세대학교

일  시: 2022. 11. 11.(Fri) 16:00

장  소: 제2공학관 B040호

▣ 초  록

본 세미나에서는 정밀생산 메카트로닉스 분야의 연구를 소개함에 있어서, 반도체 생산 장비(Lithography Scanners)를 한 예로 들어 해당 장비 내에 사용되는 최첨단 메카트로닉스 기술 중 모터와 스테이지 기술을 이야기하고자 한다.

첨부
221111_학부_윤준영 교수님.jpg