- Title
- [Undergraduate Seminar] 11th Nov(Fri) Prof. Junyoung Yoon(Yonsei Univ) "정밀 생산 메카트로닉스: Motor and Stage Technology in Lith
- Date
- 2022.11.08
- Writer
- 기계공학부
- 게시글 내용
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Please give a lot of attention and participation from the members of the Mechanical Engineering department.
▣ Title: 정밀 생산 메카트로닉스: Motor and Stage Technology in Lithography Scanners
▣ Speaker: 윤준영 교수
▣ Affiliation: 연세대학교
▣ Date: 2022. 11. 11.(Fri) 16:00
▣ Venue: 제2공학관 B040호
▣ Abstract
본 세미나에서는 정밀생산 메카트로닉스 분야의 연구를 소개함에 있어서, 반도체 생산 장비(Lithography Scanners)를 한 예로 들어 해당 장비 내에 사용되는 최첨단 메카트로닉스 기술 중 모터와 스테이지 기술을 이야기하고자 한다.
- Attachments
- 221111_학부_윤준영 교수님.jpg