- Title
- [Graduate Seminar] 1st Apr(Fri) Lim Chang moon(SK hynix) "Semiconductor lithography and EUV"
- Date
- 2022.03.28
- Writer
- 기계공학부
- 게시글 내용
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Please give a lot of attention and participation from the members of the Mechanical Engineering department.
▣ Title: Semiconductor lithography and EUV
▣ Speaker: 임창문 위원
▣ Affiliation: SK hynix
▣ Date: 2022. 4. 1.(Fri) 13:00
▣ Venue: Online(Zoom)
▣ Host: 한재원 교수
▣ Abstract
현대 사회의 필수 요소가 된 반도체의 제조 과정에서 핵심 공정 중 하나인 lithography 기술, 특히 최근 관심이 높아진 EUV 기술에 대해 소개한다. Lithography 기술이 발전해 온 과정을 되돌아보고, EUV가 등장하는 배경과 도전 과제에 대해 살펴 보며, 어떤 부분에서 기계 공학도가 기여할 수 있는지 토의해 보고자 한다.
https://yonsei.zoom.us/j/82015293645?pwd=Y2ZKbnd5K0sxb3A4VVNZZmEwcENlQT09
- Attachments
- 20220401_대학원_임창문 위원.JPG