이형석 교수 연구팀, 대한기계학회-SEMES 오픈이노베이션 챌린지 대상 수상

  이형석 교수 연구팀에서는 '음향파를 이용하여 액체 속 미세 입자를 조작하는 기술'을 연구 개발중이다. 반도체 및 디스플레이 제작 과정에서 생성되어 공정 정밀도를 낮출 수 있는 ‘미세 버블’을 음향파로 제거하는 기술에 대한 제안으로 ‘제4회 대한기계학회-SEMES 오픈이노베이션’ 공모전에서 대상을 수상했다.  SEMES는 삼성전자 자회사인 반도체 제작 장비 업체이다.

[언론보도]

2019.11.15 / ZDNet: https://zdnet.co.kr/view/?no=20191115110855&re=R_20201221150403